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激光編碼器,又稱光纖激光尺、激光干涉尺,它是利用激光干涉的原理對位移進行高精度測量輸出,完成實時控制的閉環(huán)應用。
PLR3000高精度激光尺(光纖激光尺)納米級精度與靈活適配性的特點,讓大尺寸、長行程精密測量一次測量完成。解決航空航天、半導體制造、大型精密加工等B端場景中,“測量量程不足被迫分段檢測”“長行程測量誤差累積”“產(chǎn)能擴張后設備無法適配新需求”的問題。
PLR3000系列0.2ppm高精度光纖激光尺是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進位置檢測設備,10nm分辨率+0.2ppm線性精度,滿足納米級測量需求,是特別為超高精度位置反饋應用而設計,在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000系列系統(tǒng)級精度激光尺以激光干涉核心技術+硬核數(shù)據(jù)支撐,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域廣泛應用。
PLR3000多軸測量光纖激光尺基于激光干涉測量原理,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域,提供精準、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000非接觸高精度測量光纖激光尺用于對精度要求苛刻、環(huán)境復雜的場景。比傳統(tǒng)光柵精度高10倍,分辨率達原子層級(10nm=100個原子直徑!) PLR3000 系列光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證:用差分干涉(DI)探頭對高精度納米位移臺進行閉環(huán)控制,在10mm行程內(nèi)任意位置實現(xiàn)納米級位置控制精度。
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