光柵測長機是一種高精度測量設(shè)備，常用于工業(yè)生產(chǎn)中對物體長度、角度和位置等參數(shù)的精確測量。其原理是利用光柵的干涉作用，通過光電檢測器將光信號轉(zhuǎn)化為電信號，并經(jīng)過計算得出被測物體的尺寸。具有高精度、高速度、非接觸式測量等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于機械加工、電子制造、半導體生產(chǎn)等領(lǐng)域。其測量精度通?？蛇_到亞微米級別，可以滿足大多數(shù)工業(yè)生產(chǎn)對尺寸精度的要求。

中圖儀器SJ5160全自動光柵式測長機采用超高精度光柵式全自動接觸式測量，零膨脹超高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達到0.001μm，測量精度高。

性能特點

1.  全程直接測量：

SJ5160系列超高精度全自動光柵測長機采用超高精度進口長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進行符合阿貝原理超高精度全自動測量。

2.  高精度、高穩(wěn)定性：

1)零膨脹超高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達到0.001μm，測量精度高；

2)高精密特制研磨級直線導軌系統(tǒng)，導軌直線度高，導軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；

3)進口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數(shù)據(jù)的真實采集；

4)采用高精度穩(wěn)定的大理石基座，保證了在頭座及五軸工作臺的移動過程中不會產(chǎn)生變形以及儀器不受外界震動干擾，保證了儀器的穩(wěn)定可靠；

3.  全自動調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測力系統(tǒng)：

1) 全自動調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測力系統(tǒng)，采用特殊及雙向受力彈性結(jié)構(gòu)，測力恒定性好，減小了測力對測量結(jié)果的影響，全自動伺服驅(qū)動控制測力及光柵反饋測力位置，保證了高的系統(tǒng)測量重復(fù)性精度；

2) 電子測力通過調(diào)節(jié)桿全自動伺服驅(qū)動系統(tǒng)控制連續(xù)可調(diào)；

3) 電子測力傳感器原理避免了儀器臺面不水平及環(huán)境振動引起的測力變化帶來的測量誤差。

4.  零測力修正系統(tǒng)：

1) 準確的電子測力技術(shù)，能準確的讀取到當前的；

2) 零測量力修正，根據(jù)被測件測量時的測針、測帽形狀及被測件尺寸進行測力變形量修正。

5.  全自動測量系統(tǒng)：

1) 帶自動掃描功能，可自動掃描各種量規(guī)、量塊、量具，根據(jù)軟件自動定義流程進行全自動、半自動掃描；

2) 智能測力檢測系統(tǒng)，防止誤操作撞機，測力接觸自動停止，自動采樣并自動得到測量結(jié)果。

6.  智能化管理與檢測軟件系統(tǒng)：

1)儀器操作界面友好，操作者很容易即可基本掌握儀器操作，使用十分簡便；

2)10多年積累的實用檢定軟件設(shè)計經(jīng)驗，向客戶提供簡潔、實用、快速的操作體驗；

3)集成眾多長度標準、規(guī)程，功能強大、自動處理數(shù)據(jù)、打印各種格式的檢定報告，自動顯示、打印、保存、查詢檢定記錄；

4)測量范圍廣，可滿足絕大多數(shù)類型的量規(guī)、量塊等長度參數(shù)測量；

5)軟件配備快速找拐點指示功能，方便客戶快速便攜地找到被測件的拐點；

6)純中文操作軟件系統(tǒng)，更好的為國內(nèi)用戶服務(wù)；

7)打印格式正規(guī)、美觀。檢定數(shù)據(jù)可存檔，或集中打印，不占用檢定操作時間；

8)本儀器采用計算機大容量數(shù)據(jù)庫儲存，可自動記錄保存所有檢定結(jié)果。

7.  高性能CNC五軸工作臺：

1)X，Y，Z三軸采用高性能交叉滾子導軌：摩擦力極小，穩(wěn)定性好，承載高；

2)Y軸、Z軸采用全自動直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動控制，光柵反饋實時位置可自動找到拐點并記錄拐點位置，調(diào)節(jié)細度高，能夠全自動準確的找到拐點；

3)Z軸及Y軸配置有光柵系統(tǒng)，可連接將數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X，可用于錐度量規(guī)及工件的測量。

8.  高性能螺紋環(huán)規(guī)測量裝置：

配置高性能超高進度螺紋環(huán)規(guī)測量裝置，可測量小螺紋環(huán)規(guī)，同時可完成極小的光滑環(huán)規(guī)檢測；測量重復(fù)性（2S）可達0.12μm以內(nèi)；測量力為電子測力，軟件界面內(nèi)可自由設(shè)置，設(shè)置較小測力可用于超薄壁工件測量；

操作過程

操作者裝好被測件，在檢測軟件上選擇被測件的標準和輸入被測件的規(guī)格等參數(shù)后，軟件控制全自動移動頭座接觸被測件，全自動調(diào)整五軸工作臺找到拐點，采樣完成得到當前測量數(shù)據(jù)，系統(tǒng)可以實時顯示測量結(jié)果，自動計算出被測件的各項參數(shù)（如檢測螺紋規(guī)，則可換算顯示出螺紋中徑），并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的標準數(shù)據(jù)庫對被測件的各項參數(shù)進行合格判定，整個測量過程不超過4分鐘，檢測結(jié)束后自動生成檢定結(jié)果。

SJ5160全自動光柵式測長機具有超高精度、全自動、功能強、電子測力等優(yōu)點，能夠檢定超高精密量具、量規(guī)，如塊規(guī)、環(huán)規(guī)、塞規(guī)、卡規(guī)、螺紋規(guī)。還可以檢測各種高精密工件內(nèi)外尺寸及高精度薄壁零件內(nèi)外徑尺寸等，具有超高精度、人為干擾少、穩(wěn)定性強等特點。可操作性能強，是一臺超高精度、全自動的光柵測長機，譬如全自動接觸、智能找拐點，全自動光滑、螺紋環(huán)規(guī)、孔徑測量等，操作人員在使用儀器過程中，只需將工件移動到位置，輸入被測件參數(shù)，通過智能測力識別方式防誤操作撞針，真正做到無損傷測量，真正實現(xiàn)一鍵測量。廣泛應(yīng)用于機械制造業(yè)、工具、量具制造業(yè)及儀器儀表制造業(yè)等企業(yè)的計量室和各級計量鑒定部門。

主要技術(shù)指標

應(yīng)用

機械制造：在機械制造過程中，可以用來測量各種零件的尺寸和形狀，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。

半導體制造：在半導體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。

光學加工：在光學加工領(lǐng)域中，可以用來測量光學元件的表面形貌和厚度等參數(shù)。

航空航天：在航空航天領(lǐng)域中，可以用來測量航空器的外形和尺寸，以及檢測零部件之間的配合精度。